클리닝 룸

A 클린룸 또는 청정실은 공기 중 미립자의 농도를 매우 낮게 유지하도록 설계된 공간입니다. 격리 및 오염으로부터 잘 통제되며, 적극적으로 정화됩니다. 이러한 방은 과학 연구 및 반도체 장치 제조와 같은 모든 나노 규모 공정을 위한 산업 생산에 일반적으로 필요합니다. 클린룸은 먼지부터 공기 중 유기체 또는 증기 입자에 이르기까지 모든 것을 차단하여 내부에서 취급되는 물질로부터 보호하도록 설계되었습니다.

클린룸은 또한 물질의 유출을 방지할 수 있습니다. 이것은 종종 위험한 생물학, 핵 작업, 제약 및 바이러스학에서 주요 목표입니다.

클린룸은 일반적으로 미리 결정된 분자 측정에서 입자 수로 정량화된 청결도 수준을 갖습니다.
일반적인 도시 지역의 주변 실외 공기에는 0.5 μm 이상 크기의 입자가 세제곱미터당 35,000,000개 포함되어 있으며, 이는 ISO 9 인증 클린룸에 해당합니다. 이에 비해, ISO 14644-1 레벨 1 인증 클린룸은 해당 크기 범위의 입자를 허용하지 않으며, 0.3 μm 이하의 입자는 세제곱미터당 12개만 허용합니다. 반도체 시설은 종종 레벨 7 또는 5로 운영되며, 레벨 1 시설은 매우 드뭅니다.